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  光刻鍵合工藝
 
   
  
光刻工藝
Contact Aligner 1:1
最小線寬:1um
對準精度:1um(頂部對準)& 2um(底部對準)
兼容4英寸和6英寸晶圓
Lift-Off
  
鍵合工藝
Si-Glass陽極鍵合
Si-Si直接鍵合
Glass-Si-Glass三層鍵合
Si-Glass-Si三層鍵合
金屬共晶鍵合
熱壓鍵合
粘結劑鍵合

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